تشدیدگرهای الکترومکانیکی بر پایه نانوساختارها

نوع مقاله: مقاله پژوهشی

نویسندگان

1 پژوهشکده علوم و فناوری نانو، دانشگاه صنعتی شریف

2 دانشکده فیزیک دانشگاه صنعتی شریف

3 دانشکده برق دانشگاه صنعتی شریف

چکیده

اخیراً ساخت تشدیدگرها در ابعاد نانو با بسامد تشدید بالا یکی از موضوعهای مورد تحقیق و توجه می باشد. جذابیت این ساختارها در تواناییشان به عنوان حسگر، فعالساز و قابلیت مکانیکیشان در ابعاد نانو می باشد. در این مقاله مروری بر سیستمهای الکترومکانیکی معرفی شده بر پایه نانوساختارهای متنوع، انواع روشهای تحریک و آشکارسازی و کاربرد این سیستم ها در حسگری جرم و فشار ارائه شده است.

کلیدواژه‌ها


[1] Lam, C. S. (2008), A review of the recent development of MEMS and crystal oscillators and their impacts on the frequency control products industry, IEEE Ultrasonic Symp. 694–704. [2] Hsu, W. T. (2008), Recent progress in silicon MEMS oscillators, Proc. 40th Annual Precise Time and Time Interval (PTTI). [3] Ayazi, F. et al., (2006), High aspect ratio SOI Vibrating Micromechanical resonators and filters, IMS, 676-679. [4] Campanella, H. (2010), Acoustic wave and electromechanical resonator, ARTECH House. [5] Ekinci, K. L. (2005), Electromechanical transducers at the nanoscale: actuation and sensing of motion in nanoelectromechanical systems (NEMS), small, 1: 786 –797. [6] Image courtesy of Dr. Zachary J. Davis, DTU Nanotech, Copenhagen, Denmark. [7] Kaajakari V., Koskinen J. K. and Mattila T. (2005), Phase noise in capacitively coupled micromechanical oscillators, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, 52:2322–31. [8] Pardo M., Sorenson L., Pan W. and Ayazi F. (2011), Phase noise shaping via forced nonlinearity in piezoelectrically actuated silicon micromechanical oscillators, Proc. MEMS,780–3. [9] Nguyen, C. T. (2007), MEMS technology for timing and frequency control, IEEE Trans. UFFC, 33:251–70. [10] Li, M. et al., (2008), Bottom-up assembly of large area nanowire resonator arrays, Nature Nanotechnology, 3, 88-92. [11] Khaderbad, A. et al., (2012), Electrical actuation and readout in a nanoelectromechanical resonator based on a laterally suspended zinc oxide nanowire, Nanotechnology, 23:025501. [12] Feng, X.L. et al., (2007), Very high frequency electromechanical resonators, Nano Letter. 7:1953-59. [13] Bunch, J.S. (2007), Electromechanical resonators from grapheme sheets, Science. 315: 490-93. [14] S. Fardindoost et al., "Electromechanical resonator based on electrostatically actuated graphene-doped PVP nanofibers," Nanotechnology 24(13), 135201-7 (2013). [15] Lassagne, B. (2008), Ultrasensitive mass sensing with a nanotube electromechanical resonator, Nano Letter. 8: 3735-38. [16] Husain, A. (2003), Nanowire based very high frequency electromechanical resonator, Appl.Phys. Lett. 83: 1240-43. [17] Nam, C.Y. (2006), Diameter dependet electromechanical properties GaN nanowires, Nano Letter. 6: 153-8 [18] Fung Wayne, Y. et al., (2009), Radio frequency nanowire resonators and in situ frequency tuning, Appl.Phys. Lett. 94: 203104 [19] Solanki, H. S. et al., (2011), High Q electromechanic with InAs nanowire quantum dots, Appl. Phys. Lett. 99: 213104. [20] Rahafrooz A., (2011), High-frequency thermally actuated electromechanical resonators with piezoresistive readout, IEEE transaction on electron device, 58:41205-1214. [21] K.L. Ekinci, X. M. H. Huang and M.L. Roukes, (2004), Ultrasensitive nano-electromechanical mass detection", Appl. Phys. Lett., 84, 446-9 [22] A. K. Naik, et al., (2009) "Towards single-molecule nanomechanical mass spectrometry", Nature nanotech. 4, 445 - 450. [23] http://www.ee.nthu.edu.tw/sclu/biosensor.pdf