لایه‌های نازک فلزی به دلیل کاربرد گسترده درحوزه‌های مرتبط با سلول خورشیدی، حسگر، میکروسکوپ الکترونی و طیف‌سنجی، تشخیص و درمان بافتهاى سرطانى، هوافضا، ارتباطات راه دور، لیزرها، خودرو و ... مورد توجه خاص قرار دارند. در این مقاله فرایند لایه‌نشانی فلزات کاربردی آلومینیوم، مس، قلع و نقره با روش تبخیر حرارتی با استفاده از روش المان محدود شبیه‌سازی و مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان می‌دهد که نوع فلز بر روی ضخامت لایه‌های نازک تاثیر بسزایی دارد اما میزان یکنواختی ضخامت لایه‌ها مستقل از این پارامتر است. همچنین بررسی‌ها نشان داد که تغییر فشار باعث تغییر توزیع ضخامت می‌شود اما میزان یکنواختی ضخامت لایه‌ها را تحت تاثیر قرار نمی‌دهد. همچنین نرخ لایه‌نشانی فلزات فوق در فشار 50 و 100 پاسکال ارائه شد.
علیپور زردکوهی, جواد, شریعتمدار طهرانی, فاطمه, علیان‌نژادی, مریم. (1398). شبیه‌سازی و بررسی لایه‌نشانی لایه‌های نازک فلزی به روش تبخیر حرارتی. دنیای نانو, 15(56), 49-56.
MLA
جواد علیپور زردکوهی; فاطمه شریعتمدار طهرانی; مریم علیان‌نژادی. "شبیه‌سازی و بررسی لایه‌نشانی لایه‌های نازک فلزی به روش تبخیر حرارتی". دنیای نانو, 15, 56, 1398, 49-56.
HARVARD
علیپور زردکوهی, جواد, شریعتمدار طهرانی, فاطمه, علیان‌نژادی, مریم. (1398). 'شبیه‌سازی و بررسی لایه‌نشانی لایه‌های نازک فلزی به روش تبخیر حرارتی', دنیای نانو, 15(56), pp. 49-56.
VANCOUVER
علیپور زردکوهی, جواد, شریعتمدار طهرانی, فاطمه, علیان‌نژادی, مریم. شبیه‌سازی و بررسی لایه‌نشانی لایه‌های نازک فلزی به روش تبخیر حرارتی. دنیای نانو, 1398; 15(56): 49-56.