شبیه‌سازی و بررسی لایه‌نشانی لایه‌های نازک فلزی به روش تبخیر حرارتی

نوع مقاله: مقاله پژوهشی

نویسندگان

دانشکده فیزیک، دانشگاه سمنان، سمنان، ایران

چکیده

لایه‌های نازک فلزی به دلیل کاربرد گسترده درحوزه‌های مرتبط با سلول‌ خورشیدی، حسگر، میکروسکوپ الکترونی و طیف‌سنجی، تشخیص و درمان بافتهاى سرطانى، هوافضا، ارتباطات راه دور، لیزرها، خودرو و ... مورد توجه خاص قرار دارند. در این مقاله فرایند لایه‌نشانی فلزات کاربردی آلومینیوم، مس، قلع و نقره با روش تبخیر حرارتی با استفاده از روش المان محدود شبیه‌سازی و مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان می‌دهد که نوع فلز بر روی ضخامت لایه‌های نازک تاثیر بسزایی دارد اما میزان یکنواختی ضخامت لایه‌ها مستقل از این پارامتر است. همچنین بررسی‌ها نشان داد که تغییر فشار باعث تغییر توزیع ضخامت می‌شود اما میزان یکنواختی ضخامت لایه‌ها را تحت تاثیر قرار نمی‌دهد. همچنین نرخ لایه‌نشانی فلزات فوق در فشار 50 و 100 پاسکال ارائه شد.
 

کلیدواژه‌ها